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特集 とびら-DRAM フラッシュ FeRAM MRAM メモリーLSIは材料で勝負-Part1  動向●急進する新材料メモリー,開発・量産競争が本格化 Part2  開発●各材料に共通な理論で開発効率を一気に向上 Part3  量産●新材料の量産典型例,FeRAMラインを見る(日経マイクロデバイス,2001/04/01号)
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